中国科学院│澳门威尼斯app下载│固体润滑实验室
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我们的研究主要集中于了解和控制薄膜的内在纳米结构、表面和界面化学特性,并利用这一认识解决微系统、纳米技术、航 天和汽车等领域的一系列问题。薄膜微观结构决定其力学、摩擦学等宏观性能,而随着系统尺寸的微型化,界面化学特性越来越重要。如,大部分电子和光电装置尺寸迅速小型化,当尺寸微小化到纳米范围时,表面积与体积的比例变得非常大。因此,许多下一代装置,特别是MEMS/NEMS,的功能主要取决于对装置元件表面薄膜内在结构的设计和对界面特性的控制和修饰能力。本课题组的主要研究宗旨是致力于在纳米水平认识薄膜微观结构和宏观性能之间的关系,以便通过设计具有独特微观结构的薄膜来实现对其力学和摩擦学性质的控制。研究所用技术设备包括:物理气相沉积(PVD),化学气相沉积(CVD),红外(FTIR),X射线光电子能谱(XPS), 原子力显微镜 (AFM), 扫描电镜(SEM), 透射电镜 (TEM), 和各种摩擦试验机。

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